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1511 次 Attolight CL-SEM系統(tǒng)在光電失效分析方面的應(yīng)用 2022-8-18
氮化鎵(GaN)是一種廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管(led)等光電器件的材料。LED結(jié)構(gòu)主要是通過(guò)外延生長(zhǎng)在藍(lán)寶石襯底上，但由于成本原因，硅成為藍(lán)寶石的代替者。然而，硅和氮化物之間巨大的不配合和熱膨
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