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| 銷售商： 廣州競贏科學儀器有限公司 | 查看該公司所有產(chǎn)品 >> |
PICOSUN™ R系列設(shè)備提供高質(zhì)量ALD薄膜的沉積技術(shù)，并在各種各樣的襯底上都表現(xiàn)極佳的均勻性，包括最具挑戰(zhàn)性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。我們?yōu)橐后w、氣體和固體化學物提供的更高級的，易更換的前驅(qū)源系統(tǒng)，能夠在晶圓、3D樣品和各種納米特性的樣品上生長顆粒度最小的薄膜層。在最基本的PICOSUN™ R系列配置中可以選擇多個獨立的，完全分離的源入口匹配多種類型的前驅(qū)源。PICOSUN™ R系列獨特的擴展性使ALD工藝可以從研究環(huán)境直接過渡到生產(chǎn)環(huán)境的PICOSUN™ P系列ALD系統(tǒng)。由于研發(fā)型與生產(chǎn)型PICOSUN™反應(yīng)腔室核心設(shè)計特點都是相同的,這消除了實驗室與制造車間之間的鴻溝。對大學來說,突破創(chuàng)新的技術(shù)轉(zhuǎn)化到生產(chǎn)中，就會吸引到企業(yè)投資。
技術(shù)指標：
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襯底尺寸和類型
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50 – 200 mm /單片 156 mm x 156 mm 太陽能硅片 3D 復雜表面襯底 粉末與顆粒 多孔，通孔，高深寬比（HAR）樣品 Roll-to-roll , 襯底最大寬 70 mm |
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工藝溫度 |
50 – 500 °C, 可選更高溫度 |
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基片傳送選件 |
氣動升降（手動裝載） 預(yù)真空室安裝磁力操作機械手（Load lock ） 半自動裝載，用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實現(xiàn) |
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前驅(qū)體 |
液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源、等離子體（最多4路氣體） 6根獨立源管線，最多加載12個前驅(qū)體源（加上Plasma管路，共7根獨立源管線） |
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重量 |
350kg+ 200 kg |
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尺寸（ W x H x D)） |
取決于選件 最小146 cm x 146 cm x 84 cm 最大189 cm x 206 cm x 111 cm |
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選件 |
集群工具，PICOFLOW™ 擴散增強器，集成橢偏儀，QCM，RGA，超高真空兼容，N2發(fā)生器，尾 氣處理器，定制設(shè)計，手套箱集成（用于惰性氣體下裝載） |
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驗收標準 |
標準設(shè)備驗收標準為 Al2O3 工藝 |
應(yīng)用領(lǐng)域：
客戶使用PICOSUN™ R系列ALD 設(shè)備在150mm和200mm（6“和8”）晶圓上所沉積薄膜厚度均勻性數(shù)據(jù)。
| 材料 | 非均勻性(1σ) |
| AI2O3 (batch) | 0.13 % |
| SiO2 (batch) | 0.77 % |
| TiO2 | 0.28 % |
| HfO2 | 0.47 % |
| ZnO | 0.94 % |
| Ta2O5 | 1.0 % |
| TiN | 1.10 % |
| CeO2 | 1.52 % |
| Pt | 3.41 % |
2. 自雙方代表在驗收單上簽字之日起免費質(zhì)保期滿后，為了確保此儀器設(shè)備的正常運行，工程師將對此工程進行定期回訪，解決在運行中所遇到的故障，提供預(yù)防措施。
3. 儀器使用過程中遇到任何問題，在接到用戶技術(shù)支持的請求后，將在8小時內(nèi)技術(shù)支持工程師回電，并在72小時內(nèi)給出解決方案。
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