6維調(diào)節(jié)架的配置

    六維調(diào)節(jié)架被廣泛用于激光器耦合對(duì)準(zhǔn)，光纖光波導(dǎo)對(duì)準(zhǔn)等領(lǐng)域。以MG公司為例，Melles Griot公司17MAX600系列6維精密位移平臺(tái)（X, Y, Z, θx, θy, θz）及17MAX300系列3維精密位移平臺(tái)（X,Y,Z）集超高的調(diào)節(jié)精度及穩(wěn)定性于一身。專利設(shè)計(jì)parallel-flexure技術(shù)，使17MAX系列精密位移平臺(tái)擁有明顯優(yōu)于同類產(chǎn)品的可靠性。

    17 MAX 300及17 MAX 600 系列精密定位平臺(tái)可配合Melles Griot公司各種手動(dòng)差分驅(qū)動(dòng)器（17DRV002）、步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器（17DRV001）、及壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器（17DRV120）一起使用。

 

    17 MAX 系列精密定位平臺(tái)中有幾款已經(jīng)裝有內(nèi)置，但通過(guò)增加外置的17DRV120 壓電驅(qū)動(dòng)器還可以進(jìn)一步提高壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的行程。下圖 即為17 MAX 301維精密位移平臺(tái)（含內(nèi)置PZT驅(qū)動(dòng)器）＋17DRV120壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器＋17DRV002手動(dòng)差分驅(qū)動(dòng)器的組合，這樣既利用了差分驅(qū)動(dòng)器的較長(zhǎng)的行程，又得到了雙倍PZT行程。

 

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