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單晶硅標樣-10μm間距
Silicon Test Specimen
用于掃描電鏡與光鏡放大倍數(shù)和圖像變形檢查。5mm x 5mm，方格間距10µm，線寬1.9µm，通過電子束印刷技術形成。每隔500µm有一稍寬的標記線，用于光學顯微鏡檢測。方格由蝕刻形成，深200nm�？筛鶕�(jù)掃描電鏡型號選擇不同樣品臺。
許多類型的樣品可以直接安裝在硅標樣上，以便在圖像中獲得內部校準。
厚度：675μm
晶體取向：<100>
晶圓類型：P型/硼摻雜
電阻：1-30歐姆/厘米
隨標樣提供校準證書，但需支付額外費用。保證的準確度為1％。標樣由英國NPL實驗室（National Physical Laboratory）用激光干涉測量法測定。
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產品編號 |
描述 |
單位 |
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615 |
單晶硅標樣，不含樣品臺 |
個 |
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615-A |
單晶硅標樣，含樣品臺A |
個 |
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615-B |
單晶硅標樣，含樣品臺B |
個 |
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615-C |
單晶硅標樣，含樣品臺C |
個 |
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615-D |
單晶硅標樣，含樣品臺D |
個 |
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615-E |
單晶硅標樣，含樣品臺E |
個 |
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615-F |
單晶硅標樣，含樣品臺F |
個 |
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615-G |
單晶硅標樣，含樣品臺G |
個 |
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615-K |
單晶硅標樣，含樣品臺K |
個 |
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615-L |
單晶硅標樣，含樣品臺L |
個 |
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615-M |
單晶硅標樣，含樣品臺M |
個 |
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615-O |
單晶硅標樣，含樣品臺O |
個 |
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615-P |
單晶硅標樣，含樣品臺P |
個 |
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615-Q |
單晶硅標樣，含樣品臺Q |
個 |
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615-R |
單晶硅標樣，含樣品臺R |
個 |
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615-5 |
單晶硅標樣，置涂黑的玻璃片上，用于入光顯微鏡 |
個 |
認證的單晶硅標樣
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產品編號 |
描述 |
單位 |
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660-615-A |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺A |
個 |
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660-615-B |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺B |
個 |
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660-615-C |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺C |
個 |
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660-615-D |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺D |
個 |
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660-615-E |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺E |
個 |
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660-615-F |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺F |
個 |
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660-615-G |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺G |
個 |
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660-615-K |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺K |
個 |
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660-615-L |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺L |
個 |
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660-615-M |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺M |
個 |
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660-615-O |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺O |
個 |
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660-615-P |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺P |
個 |
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660-615-Q |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺Q |
個 |
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660-615-R |
單晶硅標樣，已認證，含樣品臺R |
個 |
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660-615-5 |
單晶硅標樣，置涂黑的玻璃片上，用于入光顯微鏡，已認證 |
個 |
2. 自雙方代表在驗收單上簽字之日起免費質保期滿后，為了確保此儀器設備的正常運行，工程師將對此工程進行定期回訪，解決在運行中所遇到的故障，提供預防措施。
3. 儀器使用過程中遇到任何問題，在接到用戶技術支持的請求后，將在8小時內技術支持工程師回電，并在72小時內給出解決方案。
