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冷卻器
英文名稱:Chiller總訪問:1840
國產(chǎn)/進口:進口半年訪問:2
產(chǎn)地/品牌:韓國LABTECH產(chǎn)品類別:其他溫度設(shè)備/程序降溫儀
型       號:LLC-070E 300R 330R 最后更新:2009-3-5
貨       號:
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  • 產(chǎn)品介紹
  • 公司簡介
精確的熱電型和冷凍型
 
• 占地面積小
• 溫度控制精確,高MTBF
• 泄漏察覺功能,觸摸屏
• 泄漏監(jiān)控
 
冷卻器是一個非常重要的保持水和腔體的溫度穩(wěn)定在某一水平的蝕刻&CVD設(shè)備
LABTECH有2種類型的冷卻器,壓縮機型冷卻器和不同于傳統(tǒng)壓縮機類型的冷卻器,即通過線性冷卻的熱電模塊運行,這種設(shè)備有更高的精確性和可靠性。

型號
LLC-070E
LLC-300E
LLC-300R
LLC-330R
LLC-540EX
LLC-550R
類型
熱電
單一冷卻器
熱電
單一冷卻器
冷凍
單一冷卻器
冷凍
雙重冷卻器
結(jié)合
雙重冷卻器
冷凍
雙重冷卻器
尺寸W×D×H
416×716×845
322×790×647
460×735×900
524×880×1400
450×900×1200
520×860×1500
重量 Kg
70
80
180
250
340
400
溫度范圍 ℃
0~80
0~80
               每個:-20~80
冷卻器1:0~80
冷卻器2:30~90
每個:-20~80
冷卻能力
20℃時700W
20℃時3000W
-10℃時1000W
20℃時3000W
20℃時4500W
-10℃時2000W
加熱能力
20℃時2000W
40℃時4000W
4000W
5000W
20℃時4500W
溫度
精確性:±0.1℃,傳感器:鉑,100RTD,數(shù)字PID控制器
系統(tǒng)控制器
數(shù)顯 / 自我診斷
冷卻流度
D.I
Flourinert Galden
蓄水池容量 L
4.5
7
4
6.5
10
4
1/2HP,磁性
2HP,磁性
3 HP,磁性
流量
> 20 LPM
> 30 LPM
接口
模擬 RS-232,RS-485
應(yīng)用工具
OLED
AMAT Centura MXP,DPS,LRC Rainbow,PTX,Excell,
Exlan,TEL,DRM(LLC-300E/LLC-300R),IPS Nano
AMAT DPS-Ⅱ
PSK
LRC
設(shè)備冷卻
溫度:10~25℃,壓力4.5Kg/cm2G±0.5 Kg/cm2G 流速:3GPM
電源要求
3P4W208V20A
3P 4W 208V 30A
3P 4W 208V 50A
3P4W208V60A

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