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全自動探針臺
英文名稱：Automatic Probe Station總訪問：249
國產(chǎn)/進口：國產(chǎn)半年訪問：38
產(chǎn)地/品牌：華矽半導(dǎo)體產(chǎn)品類別：其它自動化設(shè)備
型       號：H300 最后更新：2025-2-14
貨       號：
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銷售商： 廣東華矽半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 查看該公司所有產(chǎn)品 >>
  • 產(chǎn)品介紹
  • 公司簡介
全自動晶圓探針臺 300 系列具有如下特性。
(1) 適用于 12 寸&8 寸（300mm&200mm）尺寸晶圓的測試
(2) 全自動測試
(3) 產(chǎn)能高
(4) 穩(wěn)定可靠的高精密視覺對位
(5) 更高剛性的平臺適配多 site 針測
 
適用的晶圓尺寸 12寸/8寸
適用晶圓厚度
200-2200μm
綜合精度 XY軸：±1μm；ZF軸：±2μm
Index time 240ms(X/Y:10mm, Z:0.5mm)
針測壓力 200kgf
測試溫度 常溫~150℃±1℃
測試機對接方式 Cable, Hard Docking, Direct Docking
通訊接口 GPIB, RS232
設(shè)備尺寸 1750mm(W)*1690mm(D)*1460mm(H)
設(shè)備重量 2000kg
電力要求 220VAC 2.0KVA 
壓縮空氣氣壓 ≥0.6MPa
真空氣壓 ≤-60kPa
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